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盐酸泵讲解真空泵的应用范围

  1、真空和衰面物理研究

  对于通常的真空研究,真空分析质谱计的主要用途是分析真空系统内的残余气体。而对表面研究来说,目前已逐步将真空质谱计和低能电子衍射仪、俄歇电子谱仪、二次离子质谱计、化学分析电子谱仪和场致发射显微镜等仪器联合使用,用来研究低压力下的真空物理过程。通常在10-9Pa以至更低的压力下进行分压力侧量。由于采用的真空系统多数为无油或少油的真空泵,所以一般并不要求质谱计有很宽的质量范围。

  2、专用器件(如电子显微镜、X射线管、阴极射线管和大型超高频电真空器件)的残气分析在这一类应用中,不像表面物理研究那样,需要检侧那么低的分压力,而希望仪器具有较宽的工作质量范围,至少具有能检测真空泵油的裂解物的能力。

  3、薄膜工艺

  制备薄膜时,用真空分析器控制其工艺过程是必要的。在燕发工艺中,主要是减少残气气氛以防止氧化;在溅射工艺中则重视所充气体纯度,如控制氢和氧的杂质含量。

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时间:2019-09-30 编辑:admin 来源:www.520tyj.com 点击:

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